白光干涉仪;奈米测量北京上海
公司名称:濠准精密测量仪器|光学显微镜
产品型号:1510ms
产品报价:
产品简介:swim系列扫描白光干涉仪结合carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3d奈米深度的表面检测分析,不仅提供3d表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至iso国际规范。
奈米深度3d形状显微检测仪 1510ms
特色1. 奈米深度3d检测
2. 高速/无接触量测
3. 表面形状/粗糙度分析
4. 非透明/透明材质适用
5. 非电子束/非雷射的安全量测
swim系列扫描白光干涉仪结合carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3d奈米深度的表面检测分析,不仅提供3d表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至iso国际规范。
swim系列扫描白光干涉仪结合carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3d奈米深度的表面检测分析,不仅提供3d表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至iso国际规范。
swim系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3d图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,3d图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2d平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全。
无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是透明材质,只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 swim系列显微检测仪适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测,应用领域包含:1. 玻璃镜片
2. 镀膜表面
3. 晶圆(wafer)
4. 光盘/硬盘(dvd disk/hard disk)
5. 微机电组件 (mems components)
6. 平面液晶显示器(lcd)
7. 高密度线路印刷电路板( hdi pcb )
8. ic封装( ic package)
9. 精密微机械组件(micro mechanical parts)
10. led基板表面微图案结购 (led subtract micro-pattern)
11. 以及其它材料分析与组件微表面研究。
相移垂直扫描专利技术,使深度分辨率达0.1nm
swim系列显微检测仪提供z轴扫描分辨率0.1nm,平面空间分辨力0.61nm(50x物镜)的量测能力,Zui高达12μm/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3d显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。
型号 | swim 1510ms | |||||
物镜放大倍率 | 10x | 20x | 50x | |||
观察与量测范围 (长x 宽) 单位: mm | 标准型 | 0.43 x 0.32 | 0.21 x 0.16 | 0.088 x 0.066 | ||
增强型 | 1.67 x 1.33 | 0.84 x 0.67 | 0.34 x 0.27 | |||
光学分辨率 (mm) | 1.12 | 0.84 | 0.61 | |||
工作距离 (mm) | 7.4 | 4.7 | 3.4 | |||
量测用光学系统 | 白光干涉显微光学系统 | |||||
高度测量 | 测量范围 | 100 mm ( 400 mm, 选配) | ||||
量测分辨率 | 0.1 nm | |||||
重复精度(σ) (1) | ≦ 0.1 % ( 量测高度: > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量测高度:1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量测高度: <1 m m ) | |||||
量测控制 | 自动 | |||||
扫瞄速度 (mm /s) | 12 (Zui快) | |||||
观察与量测用光源 | 光源类型 | 仪器用卤素光源 | ||||
平均使用寿命 | 1000小时 | |||||
光强度调整 | 自动 /手动 | |||||
取像单元 | 影像传感器 | 黑白 ccd数位摄像机 | ||||
传感器分辨率 | 标准型 | 640 x 480 像素 | ||||
增强型 | 1280 x 1024像素 | |||||
样品移动平台 | 观察移动平台 | 行程 | 150 mm x 100 mm, 手动 | |||
载重 | 大于 10 kg | |||||
z 轴移动范围 | 80 mm,手动 | |||||
位置数字显示单元 | 三轴光学尺与三轴数字显示器 (分辨率1 mm) | |||||
倾斜调整平台 | 手动 | |||||
底座 | 花岗岩 | |||||
数据处理与显示用计算机 | 中央处理运算单元 | 双核心cpu | ||||
影像与数据显示屏幕 | 17” 液晶屏幕 | |||||
存储装置 | 160 gb 以上硬盘机 | |||||
操作系统 | windowsxp (2) | |||||
电源 | ac110v /220v ,50hz /60hz | |||||
重量 | 约150 kg (含花岗岩底座) | |||||
分析软件 | windowsxp 兼容的影像撷取与分析软件, 包含 iso 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波, 多样的 2d和 3d 观测视角图, 外形/面积/体积分析, 图像缩放, 标准影像档案格式转换, 报表输出等等。 | |||||
阶高标准片(选配) | 提供 50 nm~ 150 mm 多种规格 |
本产品的加工定制是是,类型是白光干涉仪,品牌是Rational/万濠,型号是SWIM-1510MS,品种是其他干涉仪,测量范围是150*100,测量分辨率是0.0000001,Zui近工作距离是1(mm),用途是奈米测量
联系方式
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- 邮编:215316
- 电话:86 512 55170775
- 联系人:张飞宇
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